特許

J-GLOBAL ID：200903087587249417

X線ミラー支持装置

発明者： 春見 和之 ,  海老沼 隆一 ,  長谷川 隆行
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-289283
公開番号（公開出願番号）：特開平5-100096
出願日： 1991年10月08日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【目的】 SR-X線ミラーユニットのミラーの交換を容易にするとともに交換後の再調整を簡単にする。【構成】 ミラー1は反射面を下向きにした状態で、ミラー保持器2の板ばね16によって支持される。ミラー保持器2は、ミラーユニットの真空チャンバー6内に配置された支持板3の所定部分に係合可能な突当て部材17、およびミラー1を冷却する冷媒流路13を備えている。ミラー1を保持するミラー保持器2を真空チャンバーに搬入して突当て部材17による位置決めを行い、孔18に係合するボルトによって支持板に固着する。損傷したミラー1は、孔18からボルトを引き抜いてミラー保持器2ごと支持板から取りはずし、真空チャンバーの外へ搬出する。

請求項（抜粋）：

ミラーを着脱自在に保持するミラー保持器と、前記ミラー保持器を真空チャンバー内において着脱自在に支持するミラー支持手段とからなり、前記ミラー保持器が、前記ミラー支持手段の突当て面に係合する位置決め手段を備えていることを特徴とするX線ミラー支持装置。