特許
J-GLOBAL ID:200903087607618600

高周波電源装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松本 英俊
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-111222
公開番号(公開出願番号):特開2004-320418
出願日: 2003年04月16日
公開日(公表日): 2004年11月11日
要約:
【課題】増幅器を破損することなく、従来より大きい高周波出力を負荷に供給することができる高周波電源装置を提供する。【解決手段】増幅部の半導体増幅素子のジャンクション温度を演算するジャンクション温度演算部18と、演算されたジャンクション温度演算値が予め設定されたジャンクション温度設定値を超えたときにジャンクション温度演算値がジャンクション温度設定値に等しくなるまで直流電源部13から増幅部12に供給する直流電源電圧を低下させる制御を行い、ジャンクション温度演算値がジャンクション温度設定値以下のときには直流電源部13から増幅部12に供給する直流電源電圧を適値に保つ制御を行う第1の制御部19と、増幅部から負荷に供給される高周波出力を高周波出力設定値に近づけるように増幅部12の出力を制御する第2の制御部とを設けた。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
高周波信号を出力する発振部と、前記発振部の出力を増幅して負荷に高周波出力を供給する増幅部と、前記増幅部に直流電源電圧を供給する直流電源部とを備えた高周波電源装置において、 前記増幅部に設けられている半導体増幅素子のジャンクション温度を演算するジャンクション温度演算部と、 前記ジャンクション温度演算部により演算されたジャンクション温度演算値が予め設定されたジャンクション温度設定値を超えたときに前記ジャンクション温度演算値が前記ジャンクション温度設定値に等しくなるまで前記直流電源部から前記増幅部に供給する直流電源電圧を低下させる制御を行い、前記ジャンクション温度演算値が前記ジャンクション温度設定値以下のときには前記直流電源部から前記増幅部に供給する直流電源電圧を適値に設定された直流電圧設定値に保つ制御を行う第1の制御部と、 前記増幅部から負荷に供給される高周波出力を高周波出力設定値に近づけるように前記発振部または増幅部の出力を制御する第2の制御部と、 を備えてなる高周波電源装置。
IPC (3件):
H03F1/52 ,  H02H5/04 ,  H05H1/46
FI (4件):
H03F1/52 A ,  H03F1/52 B ,  H02H5/04 Z ,  H05H1/46 R
Fターム (18件):
5J500AA01 ,  5J500AA41 ,  5J500AC57 ,  5J500AF01 ,  5J500AH09 ,  5J500AH19 ,  5J500AH25 ,  5J500AH29 ,  5J500AH33 ,  5J500AH35 ,  5J500AH39 ,  5J500AK01 ,  5J500AM22 ,  5J500AS00 ,  5J500AT01 ,  5J500AT06 ,  5J500AT07 ,  5J500WU03

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