特許

J-GLOBAL ID：200903087608417587

圧電アクチュエータ

発明者： 長屋 年厚 ,  野々山 龍彦 ,  中村 雅也 ,  齋藤 康善 ,  ▲高▼尾 尚史 ,  本間 隆彦 ,  鷹取 一雅
出願人/特許権者： 株式会社デンソー ,  株式会社豊田中央研究所
代理人 (2件)： 高橋 祥泰 ,  岩倉 民芳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-228397
公開番号（公開出願番号）：特開2006-108639
出願日： 2005年08月05日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：

【課題】実用性に優れた圧電アクチュエータを提供すること。【解決手段】圧電セラミックスとその表面の少なくとも一部に形成された電極とを有する圧電素子2と、圧電素子2を保持する保持部材4とを有する圧電アクチュエータである。圧電セラミックスは、下記の要件(a)〜(e)の内、少なくとも一つ以上の要件を満足する。(a)嵩密度が5g/cm3以下であり、かつ共振-反共振法で求めたヤング率Y11Eが90GPa以上であること。(b)熱伝導率が2Wm-1K-1以上であること。(c)-30〜160°Cという特定温度範囲において、熱膨張係数が3.0ppm/°C以上であること。(d)-30〜160°Cという特定温度範囲において、焦電係数が400μCm-2K-1以下であること。(e)-30〜80°Cという温度範囲において、共振-反共振法で求めた機械的品質係数Qmが50以下であること。【選択図】図15

請求項（抜粋）：

圧電セラミックスの表面に一対の電極を形成してなる圧電素子と、該圧電素子を保持する保持部材とを有する圧電アクチュエータであって、 上記圧電セラミックスは、下記の要件(a)〜(e)の内、少なくとも一つ以上の要件を満足することを特徴とする圧電アクチュエータ。 (a)嵩密度が5g/cm3以下であり、かつ共振-反共振法で求めたヤング率Y11Eが90GPa以上であること (b)熱伝導率が2Wm-1K-1以上であること (c)-30〜160°Cという特定温度範囲において、熱膨張係数が3.0ppm/°C以上であること (d)-30〜160°Cという特定温度範囲において、焦電係数が400μCm-2K-1以下であること (e)-30〜80°Cという温度範囲において、共振-反共振法で求めた機械的品質係数Qmが50以下であること

IPC (7件)：

H01L 41/083 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/22 ,  H02N 2/00 ,  H04R 17/00 ,  G10K 9/122

FI (8件)：

H01L41/08 R ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/22 A ,  H01L41/22 Z ,  H02N2/00 B ,  H04R17/00 ,  H04R17/00 330A ,  G10K9/12 101C

Fターム (6件)：

5D004BB01 ,  5D004CC01 ,  5D004DD01 ,  5D019BB02 ,  5D019BB12 ,  5D019FF01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 圧電磁器組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-349115   出願人：京セラ株式会社
• 圧電セラミックス、圧電素子、および積層型圧電素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-324939   出願人：株式会社村田製作所

審査官引用 (4件)

• 圧電磁器組成物及びその製造方法,並びに圧電素子及び誘電素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-274920   出願人：株式会社デンソー, 株式会社豊田中央研究所
• 圧電磁器組成物及びその製造方法,並びに圧電素子及び誘電素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-274916   出願人：株式会社デンソー, 株式会社豊田中央研究所
• 圧電磁器組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-248728   出願人：株式会社村田製作所
• 圧電磁器組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-320796   出願人：日本セラミック株式会社