特許

J-GLOBAL ID：200903087611762660

キャリアローダ装置

発明者： 谷山 育志
出願人/特許権者： 神鋼電機株式会社
代理人 (1件)： 内藤 哲寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-117847
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288369
出願日： 1995年04月18日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】キャリアローダ装置の大幅な構造の変更を伴うことなく、大きさの異なる2種類のウェハキャリアをセット可能にすることである。【構成】大きさの異なる2種類のウェハキャリアC1,C2 の横方向の位置決めに対応して、キャリア載板5の両側部に着脱可能に取付けられる1対1組となった2組の横方向位置決め体A1a, A1b (A2a, A2b) と、2種類の前後方向位置決め体B1,B2 が背中合わせとなって連結板23に一体に取付けられた構成であって、前記2種類のウェハキャリアC1,C2 の前後方向の位置決めに対応して、キャリアローダ装置の全体を取付けている基板1に前後反転可能にして取付けられる反転型前後方向位置決め体Bとを備え、供給するウェハキャリアに応じて、前記2組の横方向位置決め体A1a, A1b (A2a, A2b) のいずれか1組を選択して前記キャリア載板5の両側部に着脱可能に取付けると共に、前記基板1に前記反転型前後方向位置決め体Bを前後反転させて取付ける。

請求項（抜粋）：

縦型半導体製造装置の入口部に配設され、多数枚のウェハを垂直にして保持しているウェハキャリアをキャリア載板に載せ、該キャリア載板を所定角度だけ回動させることにより、該ウェハキャリアに保持されている多数枚のウェハを水平にして該製造装置の内部に供給するためのキャリアローダ装置において、大きさの異なる2種類のウェハキャリアの横方向の位置決めに対応して、前記キャリア載板の両側部に着脱可能に取付けられる1対1組となった2組の横方向位置決め体と、2種類の前後方向位置決め体が背中合わせとなって連結板に一体に取付けられた構成であって、前記2種類のウェハキャリアの前後方向の位置決めに対応して、キャリアローダ装置の全体を取付けている基板に前後反転可能にして取付けられる反転型前後方向位置決め体とを備え、供給するウェハキャリアに応じて、前記2組の横方向位置決め体のいずれか1組を選択して前記キャリア載板の両側部に着脱可能に取付けると共に、前記基板におけるキャリア載板が水平となって配置される部分の手前側に前記反転型前後方向位置決め体を前後反転させて取付けたことを特徴とするキャリアローダ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 7/10 ,  B65G 49/07

FI (5件)：

H01L 21/68 G ,  H01L 21/68 D ,  H01L 21/68 T ,  B23Q 7/10 ,  B65G 49/07 L