特許

J-GLOBAL ID：200903087614962783

エレクトロマイグレーション評価方法及び装置

発明者： 藤井 美香
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-082070
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246342
出願日： 1996年03月11日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】 エレクトロマイグレーションによる寿命算出後、温度補正することなく正確なエレクトロマイグレーションによる寿命評価が可能なエレクトロマイグレーション評価方法及び装置を提供する。【解決手段】 寿命評価すべきサンプルを準備するステップ(S1)と、前記サンプル抵抗の温度特性を測定するステップ(S2)と、前記サンプルを前記恒温槽内にセットするステップ(S3)と、恒温槽の温度を設定するステップ(S4)と、サンプル抵抗をエレクトロマイグレーション進行前に測定するステップ(S5)と、測定した抵抗値に基づいてサンプルが所定の温度になるように恒温槽温度を調整するステップ(S10)と、サンプル抵抗が判定値になるまでの時間を測定するステップ(S6)と、測定時間から寿命を算出するステップ(S7)とを有する。

請求項（抜粋）：

エレクトロマイグレーションによる寿命評価をすべきサンプルを準備するステップと、恒温槽内の前記サンプルからジュール発熱しない状態に於いて、前記サンプルの抵抗の恒温槽温度に対する温度特性を測定するステップと、エレクトロマイグレーションによる寿命評価のために、前記サンプルを前記恒温槽内にセットするステップと、前記恒温槽の温度を設定するステップと、ジュール発熱する前記サンプルの抵抗をエレクトロマイグレーションの進行前に測定するステップと、測定した前記サンプルの抵抗値から前記温度特性に基づいて前記サンプルが所定の温度になるように前記恒温槽の温度を調整するステップと、調整後前記サンプルの抵抗が判定基準抵抗値になるまでの時間を測定するステップと、前記測定した時間からエレクトロマイグレーションによる寿命を算出するステップと、を有するエレクトロマイグレーション評価方法。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/3205

FI (4件)：

H01L 21/66 S ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/26 H ,  H01L 21/88 Z