特許
J-GLOBAL ID：200903087627956413
磁気浮上搬送装置に於けるワーク検出方法と装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-153634
公開番号（公開出願番号）：特開平8-012076
出願日： 1994年07月05日
公開日（公表日）： 1996年01月16日
要約：
【要約】【目的】 磁気浮上した移動子に保持するワークの有無を該移動子に特別の機器を設けることなくその搬送中常時監視する方法及び該ワークのずれや落下も検出可能なワーク検出方法を提供する【構成】 ワークaを保持する移動子4とこれに対向して設けた作動制御子9とに、複数個の電磁石6により磁気浮上され且つ浮上制御用センサ7により該移動子の磁気浮上姿勢の制御可能な磁気浮上装置3を設け、該磁気浮上装置により磁気浮上させた該移動子が該作動制御子の移動に追従して移動する磁気浮上搬送装置に於いて、該磁気浮上装置の該センサの検出値に基づき該電磁石へ分配する制御電圧の変化により該移動子のワークの保持の有無を検出する【効果】 移動子の搬送経路に特別なセンサ等を設ける必要がなく、他の機器等と干渉することなくワークの有無を確実に検出でき、搬送開始から終了までその検出を継続して行なえる
請求項（抜粋）：
ワークを保持する移動子とこれに対向して設けた作動制御子とに、複数個の電磁石により該移動子を磁気浮上させ且つ浮上制御用センサにより該移動子の磁気浮上姿勢の制御可能な磁気浮上装置を設け、該磁気浮上装置により磁気浮上させた該移動子が該作動制御子の移動に追従して移動する磁気浮上搬送装置に於いて、該磁気浮上装置の該センサの検出値に基づき該電磁石へ分配する制御電圧の変化により該移動子のワークの保持の有無を検出することを特徴とする磁気浮上搬送装置に於けるワーク検出方法。
IPC (6件)：
B65G 54/02
, B60L 13/06
, G05D 3/12
, H01L 21/68
, H01L 21/203
, H01L 21/3065
