特許
J-GLOBAL ID：200903087629765879

感光性樹脂組成物およびそれを用いた金属樹脂複合体

発明者：
谷口 竜一郎

谷口 竜一郎 について

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富川 真佐夫

富川 真佐夫 について

, 
小山 義広

小山 義広 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-085191
公開番号（公開出願番号）：特開2007-264028
出願日： 2006年03月27日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：
【課題】パターン加工時の残膜性に優れ、かつ、加熱処理による形状の変化が極めて少ない感光性樹脂組成物ならびにそれを用いた金属樹脂複合体を提供する。【解決手段】(a)アルカリ可溶性ポリイミドおよび/またはアルカリ可溶性ポリイミド前駆体、(b)連結基が規定される長鎖ポリオールから誘導される脂肪族ジ(メタ)アクリレートおよび(c)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(a)アルカリ可溶性ポリイミドおよび/またはアルカリ可溶性ポリイミド前駆体、(b)下記一般式(1)〜(2)より選ばれる一種以上の脂肪族(メタ)アクリル化合物および(c)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/037 ,  G03F 7/027 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (4件)：
G03F7/037 501 ,  G03F7/027 502 ,  H01L21/30 502R ,  G03F7/20 501
Fターム (23件)：
2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC43 ,  2H025BC65 ,  2H025BC86 ,  2H025CA00 ,  2H025CB25 ,  2H025CB41 ,  2H025CB42 ,  2H025CB43 ,  2H025DA30 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H097FA03 ,  2H097LA09
引用特許：
出願人引用 (6件)
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