露光照明装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-339192
公開番号（公開出願番号）：特開平9-179309
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】装置の小型化、保守・維持の簡易化、低価格化を実現すると共に、露光照明光の光強度分布の均一性を高める。【解決手段】光源部1が複数個の固体レーザ1a,1b・・・を備えることにより、装置の小型化、保守・維持の簡易化、低価格化を実現する。光源部1が出射する複数本の光ビームを1本の光ビームに結合する結合光学系(2,3)を備えることにより、露光照明光の光強度分布の均一性を高める。結合光学系として、カタディオプトリック光学系、光ファイバーバンドル、回折格子、レンズアレイなどを用いる。光源部1に複数の固体レーザ1a,1b,・・・を用いているから、一部の光源が欠けても、装置全体としては出力が低下するけで中断することなく運転を続行することができる。本発明を露光装置に適用した場合、製造ラインが停止することがないから、稼働率が向上する。

請求項（抜粋）：

半導体装置や液晶表示装置などの電子デバイスの製造工程においてマスク上に形成された回路などのパターンを基板上に露光する際に使用される露光装置などの照明用光源装置として用いられる露光照明装置であって、複数個の固体レーザ発振から成る光源部と、該光源部が出射する複数本の光ビームを1本の光ビームに結合する結合光学系とを備えたことを特徴とする露光照明装置。

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