特許

J-GLOBAL ID：200903087641105477

平坦性に優れた透明導電性フィルムおよびその製造法

発明者： 宮崎 龍法 ,  松本 賢次 ,  高瀬 純治 ,  藤井 貞男
出願人/特許権者： 鐘淵化学工業株式会社
代理人 (1件)： 伊丹 健次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-059587
公開番号（公開出願番号）：特開平6-251631
出願日： 1993年02月23日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【構成】 透明フィルム基板上に、酸素及び水蒸気に対して実質的に不透過性を有する透明の無機系バリヤー性薄膜を5〜100nmの厚みで形成し、さらに該バリヤー性薄膜の上に透明導電性薄膜を20〜400nmの厚みで形成してなり、酸素透過度が5cc/m2/day 以下で水蒸気透過度が5g/m2/day 以下であり、且つ100mm×100mmの透明導電性フィルムの一辺の中央部を保持して釣り下げて測定したときの曲率半径が50mm以上であることを特徴とする透明導電性フィルムで、成膜条件をコントロールすることにより得られる。【効果】 導電性、酸素及び水蒸気バリヤー性に優れるとともに、平坦性に優れている。

請求項（抜粋）：

透明フィルム基板上に、酸素及び水蒸気に対して実質的に不透過性を有する透明の無機系バリヤー性薄膜を5〜100nmの厚みで形成し、さらに該バリヤー性薄膜の上に透明導電性薄膜を20〜400nmの厚みで形成してなり、酸素透過度が5cc/m2/day 以下で水蒸気透過度が5g/m2/day 以下であり、且つ100mm×100mmの透明導電性フィルムの一辺の中央部を保持して釣り下げて測定したときの曲率半径が50mm以上であることを特徴とする透明導電性フィルム。

IPC (4件)：

H01B 5/14 ,  C01G 15/00 ,  C23C 14/08 ,  H01B 13/00 503

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭63-108614
  
• 特開平4-089236
  
• 特開平4-306513
  

審査官引用 (6件)

• 特開昭63-108614
  
• 特開昭63-108614
  
• 特開平4-089236
  
• 特開平4-089236
  
• 特開平4-306513
  
• 特開平4-306513