特許
J-GLOBAL ID：200903087644806921
多関節アーム式搬送装置及びその調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-126484
公開番号（公開出願番号）：特開平5-318352
出願日： 1992年05月19日
公開日（公表日）： 1993年12月03日
要約：
【要約】【目的】位置ずれ調整を容易にかつ短時間で行う。【構成】ロータリエンコーダ38で軸16の回転角θをベルト41を介して検出し、ロータリエンコーダ48で軸26の回転角φをベルト51を介して検出する。初期化信号に応答して、回転角θ及びφを読み込み、軸16の初期回転角をθ0とし軸26の初期回転角をφ0としたとき、軸16のみをθ0-θ-(φ0-φ)だけ回転させ、次に、軸16及び軸26を共にφ0-φだけ同期回転させることにより、搬送装置を初期状態にする。搬送装置を用いてウェーハ搬送中に、スリップにより軸16、26の回転とステップモータ18、28の回転との間にずれが生じて異常停止した場合には、多関節アーム式搬送装置を初期状態にさせた後、スイッチ64を操作することにより、動作異常を正常化する。
請求項（抜粋）：
軸(16、26)をステップモータ(18、28)で回転駆動して、多関節アーム(12〜14)を伸縮及び回転させることにより、アーム先端部で対象物(W)を搬送する多関節アーム式搬送装置において、該軸について、入力軸(39、49)が該軸の回転と連動回転し、基準回転角に対する回転角Φを検出するロータリエンコーダ(38、48)と、該多関節アームが所定状態(2〜4)のときの該軸の初期状態からの回転角Φiを設定する回転角設定手段(65)と、該多関節アームを該所定状態にするために該ステップモータに所定個数のパルスを供給した後、該ロータリエンコーダが検出した回転角Φを読み込み、初期回転角をΦ0としたとき、Φ-Φ0-Φiが許容範囲内であるかどうかを判定する正常/異常判定手段(61、82、85、88、91、94、97)と、該差が許容範囲外と判定された場合には、搬送動作を停止させる異常停止手段(61、98)と、スイッチ(64)の操作に応答して、該ロータリエンコーダの出力を該軸の該初期回転角Φ0として読み込み、該初期回転角Φ0を更新する初期回転角更新手段(61、98)と、を有することを特徴とする多関節アーム式搬送装置。
IPC (4件)：
B25J 9/10
, B25J 13/08
, G05B 19/19
, H01L 21/68
