微細構造化表面での角度依存回折効果の高速測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-608160
公開番号（公開出願番号）：特表2002-540422
出願日： 2000年03月31日
公開日（公表日）： 2002年11月26日
要約：

【要約】コヒーレント放射源(1)と、異なった方向にコヒーレントビームを偏向する装置(2)と、球面又は非球面鏡に相応するように配置された球面又は非球面鏡、又は鏡セグメント(3)と、サンプルで回折したビームの強度を測定する検出器ユニット(4)とからなる角度依存回折効果の測定装置において、偏向装置によって時間的に連続して異なった方向に偏向された、鏡装置からのビームが、コヒーレントビームが異なる入射角度で散布に偏向されるように反射されることを特徴とする、微細構造化表面での角度依存回折効果の高速測定装置を提案する。このために、測定ビームの入射角度を連続的もしくは小さいステップで変更させる。直接反射(ゼロ次の回折)の強度並びに場合により生じる高次の回折を測定する。変更された入射角度に左右される強度変化の評価は、検査された周期的構造の形及び材料で推論することができる。

請求項（抜粋）：

-コヒーレントビーム源(1)と、-異なった方向にコヒーレントビームを偏向する装置(2)と、-球面又は非球面鏡、又は球面又は非球面鏡に相応するように配置された鏡セグメント(3)と、-サンプルで回折したビームの強度を測定する検出ユニット(4)とからなる、角度依存回折効果の測定装置において、偏向装置によって時間的に連続して異なった方向に偏向されたビームが鏡装置によって、コヒーレントビームが異なる入射角度でサンプルに偏向されるように反射されることを特徴とする、微細構造化表面での角度依存回折効果の高速測定装置。

IPC (5件)：

G01B 11/24 , G01N 21/00 , G01N 21/47 , G01N 21/956 , H01L 21/66

FI (5件)：

G01N 21/00 B , G01N 21/47 A , G01N 21/956 A , H01L 21/66 J , G01B 11/24 D

Fターム (49件)：

2F065AA51 , 2F065DD06 , 2F065FF48 , 2F065GG04 , 2F065JJ05 , 2F065JJ16 , 2F065JJ18 , 2F065JJ26 , 2F065LL02 , 2F065LL11 , 2F065LL13 , 2F065NN16 , 2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AB20 , 2G051BA10 , 2G051BB17 , 2G051CA02 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CC13 , 2G051EB01 , 2G059AA03 , 2G059AA05 , 2G059BB10 , 2G059BB16 , 2G059EE02 , 2G059EE09 , 2G059FF08 , 2G059GG01 , 2G059JJ13 , 2G059JJ14 , 2G059JJ15 , 2G059JJ17 , 2G059JJ22 , 2G059KK01 , 2G059KK03 , 2G059KK04 , 2G059LL04 , 2G059MM14 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106CA39 , 4M106DB01 , 4M106DB02 , 4M106DB08 , 4M106DB13

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭55-050214
特開平3-183903

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