特許
J-GLOBAL ID：200903087662877143
センサー素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-090749
公開番号（公開出願番号）：特開平5-288705
出願日： 1992年04月10日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：
【要約】【構成】 温度参照用抵抗と湿度検出用抵抗とを組合せて湿度を測定するように構成したセンサー素子において、表面に第1および第2凹部を有する第1基板と、第1凹部内に設けられた湿度検出用抵抗と、第2凹部内に設けられた温度参照用抵抗と、第1凹部の一部を露出させると共に第2凹部を密閉するように第1基板を覆う第2基板を備え、第2凹部の容積が第1凹部の容積よりも大きく設定されたことを特徴とする。【効果】 センサー素子の環境温度の変動にかかわらず、精度の高い湿度検出が可能となる。
請求項（抜粋）：
温度参照用抵抗と湿度検出用抵抗とを組合せて湿度を測定するように構成したセンサー素子において、表面に第1および第2凹部を有する第1基板と、第1凹部内に設けられた湿度検出用抵抗と、第2凹部内に設けられた温度参照用抵抗と、第1凹部の一部を露出させると共に第2凹部を密閉するように第1基板を覆う第2基板を備え、第2凹部の容積が第1凹部の容積よりも大きく設定されたことを特徴とするセンサー素子。
IPC (2件)：
引用特許：
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