特許
J-GLOBAL ID：200903087669027684
種棒切断方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-297761
公開番号（公開出願番号）：特開平6-122119
出願日： 1992年10月09日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】【目的】 良質の種子結晶を得るため、素材である単結晶インゴットの結晶方位を正確に検出し、これに基づいて前記素材の切断方向を正確に調節することができるようにする。【構成】 治具1の2面1a,1cに素材4の外周を貼着し、治具3に載置、固定した治具2に前記治具1の一側の面を下にして載置した後、X線回折装置により素材4の端面にブラッグ角でX線を照射する。前記X線回折装置の検出器6による回折波強度が最大となるように、治具2の4本の調整ボルト2eを操作して治具1の向きを調節した上、治具2を切断機の基準面に固定して第1の切断を行う。次に、治具1の他側の面を下にして治具2に載置し、再度素材4の端面にX線を照射し、前記と同様に検出器6による回折波強度が最大となるように調整ボルト2eを操作して治具1の向きを調節した上、治具2を切断機の基準面に固定して第2の切断を行う。
請求項（抜粋）：
単結晶インゴットの結晶格子面間隔をdとし、波長λのX線を前記結晶格子面に対して角度θで照射したとき、sinθ=λ/2dとなる条件〔ブラッグの条件〕を満たす位置に検出器を配設し、前記単結晶インゴットの端面に波長λのX線を照射したとき検出器による回折波強度が最大となるように単結晶インゴットの軸の向きを調節した上、所定の間隔で結晶格子面に直角方向に第1のインゴット切断を行い、インゴットの軸を中心として前記単結晶インゴットを90°回転させた後、インゴットの端面に波長λのX線を照射し、前記と同様に検出器による回折波強度が最大となるように単結晶インゴットの軸の向きを調節した上、所定の間隔で結晶格子面に直角方向に第2のインゴット切断を行うことにより種棒を得ることを特徴とする種棒切断方法。
IPC (3件)：
B28D 7/02
, G01N 23/207
, H01L 21/304 311
