露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-159687
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130607
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】安全対策を施した基板ケース情報の自動読み取り装置を備えた露光装置を提供することを目的とする。【構成】マスクRの複数枚を個別に収納するケース2を保持するライブラリー1と、ライブラリーを収納するとともに、開閉扉14を有する空調チャンバー20とを有し、マスクのパターンをウエハ16へ転写する露光装置において、開閉扉の開閉状態を検知する扉検知センサー11a、11bと、ケースのライブラリーへの装着状態を検知するケース位置センサー12a、12bと、ケースのケースバーコードBC1を読み取るリーダ8と、リーダ駆動アーム10とを備え、上記2つのセンサーからの夫々の検知信号に基づいて、開閉扉が閉状態であり、かつケースの全てが完全な位置に装着されているとき、バーコードBC1をリーダにより読み取るようにリーダ駆動アームを作動させる。

請求項（抜粋）：

マスクのパターンを感光基板へ転写する露光機器と、該露光機器で使用すべきマスクの複数枚を個別に収納する複数個のケースを着脱自在に保持するケース保管部と、該ケース保管部内の選ばれた1つのケースからマスクを取り出して前記露光機器のマスク載置部へ搬送する搬送機構と、前記露光機器、ケース保管部、及び搬送機構を、空調された防塵空間内に収納するとともに、前記ケース保管部のケース装着部分と対向した位置に開閉扉を有する空調チャンバーとで構成される露光装置において、前記空調チャンバー内の前記ケース保管部のケース装着部分と隣接して配置され、前記ケースの夫々の特定位置に付されたケース情報パターンを読み取る情報読み取り手段と;該情報読み取り手段が前記ケースの特定位置と対向する状態で、前記情報読み取り手段と前記ケース保管部とを、前記ケースの複数個が並ぶ方向に沿って相対移動させる移動手段と;前記開閉扉の開閉状態を検知し、開状態のときに第1の検知信号を出力する第1検知手段と;前記ケース保管部に装着されたケースのうちの少なくとも1個が、ケース装着部分に対して不完全な位置関係に装着されているとき、第2の検知信号を出力する第2検知手段と;前記第1、及び第2の検知信号に基づいて、前記開閉扉が閉状態で、かつ前記ケースの全てが完全な位置に装着されているとき、前記装着されたケースの情報パターンを前記情報読み取り手段によって読み取るように、前記移動手段を作動させる制御手段とを設けたことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (3件)

半導体露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-268789 出願人：キヤノン株式会社
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-301582 出願人：松下電子工業株式会社
特開昭63-110627

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