特許
J-GLOBAL ID：200903087672841228
ウエハの切断方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-241656
公開番号（公開出願番号）：特開平5-077230
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：
【要約】【目的】ウェハの状態で保たれている素子パターン並び精度を、ブロック片に切り出した状態においても維持すること。【構成】ウェハ1の切断面を研削砥石7によって仕上げ加工して基準面を形成する。次に、治具固定アーム5を用いて基準面にブロック固定治具4を固定する。次に、顕微鏡システム3とXYθテーブル12を用いて1素子パターンピッチだけウェハ1をX方向に移動させて位置調整を行う。次に、切断砥石6を用いてブロック片を切り出す。したがって、剛性の高いブロック固定治具4を基準面に密着させた状態でウェハ1からブロックを切り出すことができ、ブロックに切り出すときにブロックの変形が生じない。その結果、素子パターンの並び精度を保持することが可能になる。
請求項（抜粋）：
複数の素子パターン列が平行に形成されているウェハから、1つの素子パターン列を含んでいるブロックを一定ピッチで切り出すウェハの切断方法において、素子パターン列と平行にウェハを切断して形成したウェハ切断面に基準面加工を行い、上記基準面にブロック状の治具を接着してウェハと上記治具を一体化し、この状態において1つの素子パターン列を含むブロックをウェハから切り出すことを特徴とするウェハの切断方法。
IPC (3件)：
B28D 5/00
, B28D 7/04
, H01L 21/78
