特許
J-GLOBAL ID：200903087677876410
シリコンジャイロおよびその駆動方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中尾 俊輔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-117308
公開番号（公開出願番号）：特開平11-311520
出願日： 1998年04月27日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【課題】 安定した角速度の検出を可能とするシリコンジャイロおよびその駆動方法を提供すること。【解決手段】 シリコンウエハにより形成され、2箇所の溝により分離された3個の弾性脚2を有するシリコンジャイロの前記弾性脚を2支持する振動子1の基部の一部を基体3に固定し、前記弾性脚2間および外側方には前記弾性脚2の並び面と垂直且つ前記弾性脚2に近接する水平電極4を配設するとともに、前記各弾性脚2毎に、その弾性脚2の並び面と平行且つ前記弾性脚2と近接する垂直電極5を配設する。
請求項（抜粋）：
シリコンウエハにより形成され、2箇所の溝により分離された3個の弾性脚を有するシリコンジャイロであって、前記弾性脚を支持する振動子の基部の一部を基体に固定し、前記弾性脚間および外側方には前記弾性脚の並び面と垂直且つ前記弾性脚に近接する水平電極を配設するとともに、前記各弾性脚毎に、その弾性脚の並び面と平行且つ前記弾性脚と近接する垂直電極を配設したことを特徴とするシリコンジャイロ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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