特許

J-GLOBAL ID：200903087683334204

異物除去機能付きウエハ処理方法

発明者： 菅野 誠一郎 ,  臼井 建人 ,  池川 正人 ,  加治 哲徳 ,  高橋 主人 ,  妻木 伸夫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-126216
公開番号（公開出願番号）：特開平8-321447
出願日： 1995年05月25日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【構成】通常の動作時にウエハの裏面に接触する部位をおおえる面積を有する板状部材を用いて、通常の処理時と同様の動作を行う構成とする。また、通常の処理用ウエハのロード室及びアンロード室とは別に板状部材のロード室、及びアンロード室を用意する。【効果】ウエハ裏面の接触面に存在する異物を板状部材に転写することで除去し、その結果、処理用ウエハの裏面異物を低減したクリーンな装置となり、稼働率が高い、ひいては歩留まりのよい装置を提供することが出来る。また、板状部材専用のロード,アンロード室を有するのでスループットの低下を最小限に抑えつつ異物の除去を行うことが出来る。

請求項（抜粋）：

ウエハを保持した状態で、少なくとも前記ウエハを搬送する機能、または固定する機能、または固定した状態で処理する機能のいずれかの機能を有するウエハ処理装置において、前記ウエハの処理の前あるいは後に、通常の動作時に前記ウエハの裏面に接触する部位をおおえる面積を有する板状部材を用いて通常のウエハ処理時と同様の動作を行い前記ウエハの裏面に付着する異物を除去することを特徴とする異物除去機能付きウエハ処理方法。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/02 Z ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 L ,  H01L 21/68 Z