特許
J-GLOBAL ID：200903087683848895
研磨材および研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-015990
公開番号（公開出願番号）：特開平8-290356
出願日： 1996年01月31日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：
【要約】【課題】 速い研磨速度と高い研磨精度を両立させることができる研磨材と、それを用いた研磨方法を提供する。【解決手段】 この研磨材は、ASTM-D2240で規定する硬度がショアD60〜83であるポリウレタン樹脂のマトリックス85〜50重量%と、前記マトリックス中に分散された研磨砥粒15〜50重量%とから成り、発泡倍率が2〜17倍であり、上定盤1、下定盤2に貼着され、これら定盤の間にキャリア4の孔内に収容された被研磨体5の両面を研磨するために用いられる。
請求項（抜粋）：
ASTM-D2240で規定する硬度がショアD60〜83であるポリウレタン樹脂のマトリックス85〜50重量%と、前記マトリックス中に分散された研磨砥粒15〜50重量%とから成り、発泡倍率が2〜17倍であることを特徴とする研磨材。
IPC (8件)：
B24B 37/00
, B24B 7/17
, B24D 3/32
, C08G 18/08 NGR
, C08K 3/00
, C08L 75/04 NFY
, C08G 18/08
, C08G101:00
B24B 37/00 C
, B24B 7/17 Z
, B24D 3/32
, C08G 18/08 NGR
, C08K 3/00
, C08L 75/04 NFY
