被照明部材の温度制御方法およびその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阪本善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-023262
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190409
出願日： 1992年01月13日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：

【要約】【目的】ミラー、レンズ、マスク等の投影系の受光面の受光中の熱歪による照明光の変化を防ぐ。【構成】凸面状のミラー1によってX線3を拡大してウエハ4を露光する半導体露光装置において、X線3による露光を開始する前に、供給熱の分布を調節するアパーチャ8を組合わせた赤外線ヒーター7によってミラー1の受光面を加熱して受光中の前記受光面の温度分布と同様の温度分布を発生させる。露光中も赤外線カメラ5によってミラー1の受光面の温度分布をモニターして、一定の温度分布を維持することで露光むらを防ぐ。

請求項（抜粋）：

被照明部材の受光面の受光中の熱歪を防止する被照明部材の温度制御方法であって、少くとも前記受光面が受光を開始する以前から、予め計測しておいた前記受光面の受光中の熱的安定状態における温度分布と同様の温度分布を、前記受光面に発生させることを特徴とする被照明部材の温度制御方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 301 H , H01L 21/30 311 S , H01L 21/30 331 A

引用特許：

出願人引用 (13件)

特開平1-155622
特開平1-238116
特開平2-240913

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審査官引用 (3件)

特開平1-155622
特開平1-238116
特開平2-240913

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