特許

J-GLOBAL ID：200903087691605462

光導波路基板

発明者： 仲井 剛
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-339981
公開番号（公開出願番号）：特開2001-154044
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 基板上に形成したシロキサン系ポリマから成る光導波路のクラッド部の外側面の角部において応力が集中して剥がれやクラックが発生しやすく、光導波路基板の信頼性が低かった。【解決手段】 基板1の上面に、この上面に対して略垂直な外側面を有するシロキサン系ポリマ製のクラッド部2とこのクラッド部2中のシロキサン系ポリマ製のコア部3とを具備する3次元導波路形状の光導波路4が形成されて成る光導波路基板6において、クラッド部2は、外側面とコア部3との間で20μm以上の幅を有するとともに、外側面の各角部2a・2bを20μm以上の曲率半径を有するものとしてある光導波路基板である。クラッド部2の角部2a・2bへの応力が効果的に十分に分散され、クラッド部2の角部2a・2bからの膜剥がれまたはクラックが発生しにくい高信頼性の光導波路基板6となる。

請求項（抜粋）：

基板の上面に、該上面に対して略垂直な外側面を有するシロキサン系ポリマ製のクラッド部と該クラッド部中のシロキサン系ポリマ製のコア部とを具備する3次元導波路形状の光導波路が形成されて成る光導波路基板において、前記クラッド部は、前記外側面と前記コア部との間で20μm以上の幅を有するとともに、前記外側面の各角部を20μm以上の曲率半径を有するものとしてあることを特徴とする光導波路基板。

Fターム (8件)：

2H047KA04 ,  2H047PA02 ,  2H047PA21 ,  2H047PA24 ,  2H047PA28 ,  2H047QA05 ,  2H047RA00 ,  2H047TA00