特許

J-GLOBAL ID：200903087700697685

背面照射型撮像装置、収差計測装置、位置計測装置、投影露光装置、背面照射型撮像装置の製造方法、およびデバイス製造方法

発明者： 成井 禎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-003646
公開番号（公開出願番号）：特開2003-204057
出願日： 2002年01月10日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：

【要約】【課題】 背面照射型撮像装置において、撮像画面外の入射光によって発生する不要電荷を抑制し、画像S/Nの高くすることを目的とする。【解決手段】 本発明の背面照射型撮像装置は、背面側に受光面を備える第1導電型の半導体基体と、受光面のエネルギー線入射によって生じる信号電荷を、受光面の副走査方向に順次転送する垂直転送部と、垂直転送部から転送される信号電荷を、受光面の主走査方向に逐次転送し、画像信号に変換して外部に出力する水平転送部と、水平転送部の少なくとも一部を覆って設けられ、水平転送部を転送中の信号電荷に不要電荷が流入することを抑制する防止部とを備えて構成される。

請求項（抜粋）：

背面側に受光面を備える第1導電型の半導体基体と、前記受光面のエネルギー線入射によって生じる信号電荷を、前記受光面の副走査方向に順次転送する垂直転送部と、前記垂直転送部から転送される前記信号電荷を、前記受光面の主走査方向に逐次転送し、画像信号に変換して外部に出力する水平転送部と、前記水平転送部の少なくとも一部を覆って設けられ、前記水平転送部を転送中の前記信号電荷に不要電荷が流入することを抑制する防止部とを備えたことを特徴とする背面照射型撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/148 ,  H04N 5/335

FI (2件)：

H04N 5/335 F ,  H01L 27/14 B

Fターム (17件)：

4M118BA10 ,  4M118BA13 ,  4M118CA08 ,  4M118DB08 ,  4M118DD09 ,  4M118FA12 ,  4M118FA26 ,  4M118FA33 ,  4M118GA02 ,  5C024AX11 ,  5C024AX16 ,  5C024CX17 ,  5C024CY47 ,  5C024GX24 ,  5C024GY06 ,  5C024GY25 ,  5C024GZ04