特許

J-GLOBAL ID：200903087709470098

検査機能を有する半導体製造装置

発明者： 柴坂 光貞
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-180920
公開番号（公開出願番号）：特開平6-029360
出願日： 1992年07月08日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】【目的】 一定の生産効率を維持しながらも高品質の半導体装置の生産を保証し得る半導体製造装置を提供することである。【構成】 加工部1と検査部3を1つの半導体製造装置内に設け、半導体装置の加工後、ただちに被加工物を検査し、不良や不良化傾向を検知する。検査部3による検査間隔、検査基準等は設定部4〜5により設定される。

請求項（抜粋）：

半導体装置を製造するための加工処理を行う加工部と、前記加工部から被加工物が供給され、所定の間隔で前記被加工物を検査する検査部と、前記検査部に接続され、前記検査部による被加工物の検査の間隔を設定する設定部を備え、被加工物を検査する機能を有することを特徴とする半導体製造装置。