特許
J-GLOBAL ID：200903087710025995

表面検査装置

発明者：
大重 貴彦

大重 貴彦 について

, 
上杉 満昭

上杉 満昭 について

, 
猪股 雅一

猪股 雅一 について

, 
吉川 省二

吉川 省二 について

, 
河村 努

河村 努 について

, 
杉浦 寛幸

杉浦 寛幸 について


出願人/特許権者：
日本鋼管株式会社

日本鋼管株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-159421
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346811
出願日： 1999年06月07日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【課題】 視野の中心から端まで表面状態を均一な条件で測定する。【解決手段】 所定の面積を有する被検査面1に対して光を入射する投光手段2と、被検査面からの反射光6を受光する受光手段7と、投光手段2から受光手段7までの光路に介挿された偏光素子5,8と、受光手段7で受光された反射光6の偏光状態から被検査面1の表面状態を検査する検査処理手段10とを備えた表面検査装置において、受光手段7から被検査面を見た場合の視野の端における偏光素子5.8の実効偏光角が視野の中心9における偏光素子の実効偏光角に近似する方向に、偏光素子5,8の光路の光軸に対するあおり角が設定されている。
請求項（抜粋）：
所定の面積を有する被検査面に対して光を入射する投光手段と、前記被検査面からの反射光を受光する受光手段と、前記投光手段から前記受光手段までの光路に介挿された偏光素子と、前記受光手段で受光された反射光の偏光状態から前記被検査面の表面状態を検査する検査処理手段とを備えた表面検査装置において、前記受光手段から前記被検査面を見た場合の視野の端における前記偏光素子の実効偏光角が前記視野の中心における前記偏光素子の実効偏光角に近似する方向に、前記偏光素子の前記光路の光軸に対するあおり角が設定されたことを特徴とする表面検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/89 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/892
FI (3件)：
G01N 21/89 H ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/892 B
Fターム (33件)：
2F065AA49 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065CC06 ,  2F065DD00 ,  2F065EE00 ,  2F065FF42 ,  2F065FF49 ,  2F065FF65 ,  2F065GG02 ,  2F065GG12 ,  2F065GG16 ,  2F065HH02 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL01 ,  2F065LL08 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065QQ25 ,  2G051AA37 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051BA11 ,  2G051BB01 ,  2G051BB09 ,  2G051BB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA06 ,  2G051CC20 ,  2G051DA06
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM