特許

J-GLOBAL ID：200903087711070056

クリーンルーム装置

発明者： 藤田 勉 ,  長谷川 欣也 ,  田中 逸郎
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-177757
公開番号（公開出願番号）：特開平10-026384
出願日： 1996年07月08日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：

【要約】【課題】 クリーンルーム装置において低騒音化及び省エネルギ化を達成する。【解決手段】 システム天井式クリーンルーム10において、ファン22吐出側ダクト26にマイク32、34及びスピーカ36を備え、コントローラ38で気流伝搬騒音と逆相の音波信号を発生し、スピーカ36から音波を発し、騒音との間で干渉させ、騒音レベルを低下させると共に、前記ダクト26後方側に直角型エルボ40を備え、騒音を反射し、反射波と干渉させ、更なる低騒音化を達成する。

請求項（抜粋）：

天井面にフィルタを設けたシステム天井式のクリーンルーム装置において、循環ファンの下流側ダクト内側に設けられた騒音検出手段と、該騒音検出手段により検出された騒音を受け、該騒音と反対の位相の信号を発生する信号発生手段と、該信号を受け、前記騒音と略同一レベルの音波で、該騒音と干渉を生ずる音波を発生する音波発生手段と、前記ダクトの更に下流側に設けられた、内側に吸音材を有する直角型エルボと、を備えたことを特徴とするクリーンルーム装置。

IPC (4件)：

F24F 7/06 ,  G01H 3/00 ,  G10K 11/178 ,  G10K 11/16

FI (4件)：

F24F 7/06 C ,  G01H 3/00 A ,  G10K 11/16 H ,  G10K 11/16 B