特許
J-GLOBAL ID：200903087718528600
感光性組成物、感光材料、レリーフパターンの製造法及びポリイミドパターンの製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-294158
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133598
出願日： 1997年10月27日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】優れた感光特性及び保存安定性を示し、かつ高解像度でプロセス安定性の良好な感光性組成物、感光材料、ポリイミドパターン等を与えうるレリーフパターンの製造法並びにポリイミドパターンの製造法を提供する。【解決手段】 アントラセン、一般式(I)で表されるチタノセン化合物及び常圧において100°C以上の沸点を有する付加重合性化合物を含有してなる感光性組成物、アントラセン、一般式(I)で表されるチタノセン化合物、化学線により2量化又は重合可能な炭素-炭素二重結合を有するポリイミド前駆体を含有してなる感光材料、前記感光性組成物又は感光材料の塗膜に活性光線をパターン状に照射し、未照射部を現像除去するレリーフパターンの製造法並びに得られたレリーフパターンを加熱して得るポリイミドパターンの製造法。(式中、R1〜R10は各々独立に水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜20のアルコキシ基又は複素環を示す)
請求項（抜粋）：
アントラセン、下記一般式(I)【化1】(式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9及びR10は各々独立に水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜20のアルコキシ基又は複素環を示す)で表されるチタノセン化合物及び常圧において100°C以上の沸点を有する付加重合性化合物を含有してなる感光性組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/029
, G03F 7/037 501
, G03F 7/038 504
, H01L 21/027
, H01L 21/312
G03F 7/029
, G03F 7/037 501
, G03F 7/038 504
, H01L 21/312 B
, H01L 21/30 502 R
