特許

J-GLOBAL ID：200903087719776853

干渉計位相測定装置、干渉計位相変動補正装置、および、媒質揺らぎ補正装置

発明者： 倉持 和夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-138402
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318310
出願日： 1996年05月31日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 光路変動の影響を低減した干渉計位相測定装置を提供する。【解決手段】 光路位置検出器11および位置検出回路12によって光路変位を検出し、位相補正回路13によって検出された光路変位に相当する位相の変化量を求め、求めた変化量の位相を補正して、位相計14に出力し、位相計14によって、参照光と測長光との位相差を測定する。

請求項（抜粋）：

入射光に基づき、第1の干渉縞および第2の干渉縞を生じさせるための干渉光学系と、上記第1の干渉縞の位相を検出するための第1の位相検出手段、および、上記第2の干渉縞の位相を検出するための第2の位相検出手段と、上記第1の位相検出手段によって検出された位相および上記第2の位相検出手段によって検出された位相の位相差を求めるための位相計とを有する干渉計位相測定装置において、上記干渉光学系に入射する前側で生ずる光路偏差を検出するための光路位置検出手段と、光路位置検出手段により検出された光路位置に基づいて、光路偏差に伴う干渉縞の位相偏差を求め、求めた位相偏差を用いて上記2の位相検出手段のいずれかによって検出された位相を補正し、補正した位相を上記位相計に出力するための位相補正手段とを有することを特徴とする干渉計位相測定装置。