特許
J-GLOBAL ID：200903087721384822
高周波用磁性薄膜、複合磁性薄膜およびそれを用いた磁気素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-377797
公開番号（公開出願番号）：特開2004-207651
出願日： 2002年12月26日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：
【課題】GHz帯域の高周波領域で、高い透磁率を有し、かつ高い飽和磁化を有するとともに、高い比抵抗を備えた高周波用磁性薄膜等を提供する。【解決手段】T-L組成物(ただし、T=FeまたはFeCo、L=C,BおよびNの1種または2種以上)からなるT-L組成物層5と、このT-L組成物層5のいずれかの面側に配置されたCo系非結晶質合金層3とを組み合わせることにより、高い透磁率および高い飽和磁化を兼備する高周波用磁性薄膜1が得られる。そして、T-L組成物層5およびCo系非結晶質合金層3に加えて、T-L組成物層5およびCo系非結晶質合金層3よりも高い電気抵抗を示す高抵抗層7をさらに備えることで、高い透磁率および高い飽和磁化を兼備するとともに、高い比抵抗を示す高周波用磁性薄膜1が得られるようにした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
T-L組成物(ただし、T=FeまたはFeCo、L=C,BおよびNの1種または2種以上)からなる第1の層と、
前記第1の層のいずれかの面側に配置されたCo系非結晶質合金からなる第2の層と、
前記第1の層または前記第2の層のいずれかの側に配置され、前記第1の層および前記第2の層よりも高い電気抵抗を示す第3の層と、を含み、
複数の前記第1の層と複数の前記第2の層と複数の前記第3の層とが積層されて多層膜構造をなすことを特徴とする高周波用磁性薄膜。
IPC (3件)：
H01F10/16
, H01F17/00
, H01F17/04
H01F10/16
, H01F17/00 B
, H01F17/04 A
, H01F17/04 F
5E049AA01
, 5E049AA04
, 5E049AA09
, 5E049AC05
, 5E049BA14
, 5E049DB12
, 5E070AB01
, 5E070BA12
, 5E070BB02
, 5E070CB03
, 5E070CB13
, 5E070CB15
