特許

J-GLOBAL ID：200903087739367682

多孔質圧電セラミックス振動子とその製造方法

発明者： 熊本 進
出願人/特許権者： 日本無線株式会社
代理人 (1件)： 千葉 剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-039935
公開番号（公開出願番号）：特開平7-250399
出願日： 1994年03月10日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】送波時に通常の無孔質圧電セラミックスと同等の注入電力密度を有するが、受波時に送波注入電力密度に無関係に体積空孔率を選択でき、従って受波感度を大幅に向上することができる多孔質圧電セラミックス振動子を提供する。【構成】所定の体積空孔率を有する多孔質圧電セラミックス層(12、13)内の、半波長共振時の節平面を含む近傍を、所定の体積空孔率より小さい体積空孔率を有する緻密な圧電セラミックス層(11)により置換して多層一体構造(10)とする。この場合、多孔質セラミックス層と緻密なセラミックス層の間に中間的な空孔率を有するセラミックス層をさらに設けてもよく、またこの中間的な空孔率を有するセラミックス層が互いに空孔率が異なる複数のセラミックス層から構成されていてもよい。この複数のセラミックス層の空孔率が緻密なセラミックス層からの距離に応じて階段状に増大してもよい。

請求項（抜粋）：

所定の体積空孔率を有する多孔質圧電セラミックス層内の半波長共振時の節平面を含む近傍を、前記所定の体積空孔率より小さい体積空孔率を有する緻密な圧電セラミックス層により置換して多層一体構造としたことを特徴とする多孔質圧電セラミックス振動子。

IPC (3件)：

H04R 17/00 330 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (2件)：

H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z