特許
J-GLOBAL ID：200903087745071990
半導体装置の検査方法及び検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323800
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181228
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：
【要約】【目的】 テスト時間を可及的に短縮して半導体装置の故障検査を行う検査装置を提供する。【構成】 半導体装置を検査する複数のテストパターンの中から単位時間当たりの検査能力が最も大きいテストパターンを選択し、このテストパターンによって検査される検査対象を他のテストパターンから除いて、新規の検査対象のみを残す。この操作を未だ選択されないテストパターンについて繰り返して、各テストパターンに実行順位をつける。新規の検査対象がなくなったテストパターンは除外する。そして、半導体装置の検査に、複数のテストパターンを決定した実行順位に従って使用する。【効果】 検査検査時間が短縮される。
請求項（抜粋）：
被測定回路に複数のテストパターンを入力して得られる前記被測定回路の出力と、前記テストパターンに対応する正常出力パターンとを比較して、前記被測定回路内の複数の検査対象の故障を検査する半導体装置の検査方法であって、前記複数のテストパターンの中から単位時間当たりの検査数が最も大きいものを1つ選択する第1の過程と、選択したテストパターンに順番な実行順位をつける第2の過程と、前記選択したテストパターンによって検査される検査対象を、選択したテストパターン以外の残りのテストパターンによって検査される検査対象から取り除く第3の過程と、検査対象が全て取り除かれたテストパターンを、前記複数のテストパターンの中から削除する第4の過程と、を備え、前記残りのテストパターンについて、前記第1乃至第4の過程を繰り返して前記複数のテストパターンに実行順位を付け、この順位に従って前記被測定回路に前記テストパターンを入力するようにしたことを特徴とする半導体装置の検査方法。
IPC (2件)：
G01R 31/28
, G01R 31/3183
G01R 31/28 F
, G01R 31/28 Q
