特許
J-GLOBAL ID：200903087751311382
光学薄膜の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-180565
公開番号（公開出願番号）：特開平9-043833
出願日： 1996年07月10日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【課題】 均一に薄い接着層を形成するとともに、薄膜をフレームに容易に取り付けることのできる光学薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】 光学薄膜10の製造方法は、薄膜フレーム14の形状に対応したパターンにて所定量の接着剤を薄膜ペリクル12上に分配することと、接着剤16及びフレームが整合されるように薄膜ペリクル12及び薄膜フレーム14を位置決めすることと、接着剤16を薄膜フレーム14と接触させて薄膜ペリクル12及び薄膜フレーム14を取り付ける各工程から成る。本発明の一実施例において、接着剤16をペリクル上に塗布する前に、薄膜ペリクル12には張力が加えられる。
請求項（抜粋）：
薄膜ペリクルと、薄膜フレームとを有する光学薄膜を製造する方法にして、前記薄膜ペリクル上に所定量の接着剤を前記薄膜フレームの形状に対応するパターンに分配する工程と、前記接着剤及び前記フレームが整合されるように、前記薄膜ペリクル及び前記薄膜フレームを互いに関して位置決めする工程と、前記薄膜ペリクルの接着剤で覆われた部分を前記薄膜フレームと接触させて、該薄膜ペリクルを該薄膜フレーム上に取り付ける工程とを含む光学薄膜の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 J
, H01L 21/30 502 P
