感放射線性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-037272
公開番号（公開出願番号）：特開2001-228612
出願日： 2000年02月15日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】化学増幅型レジストとして、特にパターン形状に優れ、かつ感度、解像度等にも優れた放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)下記一般式(1)で表されるアダマンタン誘導体を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、各R1 は相互に独立に水素原子、置換あるいは非置換の炭素数1〜20のアルキル基または-CH2 COOR2 (但し、R2 は炭素数1〜18のアルキル基を示す。)を示す。〕

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)下記一般式(1)で表されるアダマンタン誘導体を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、各R1 は相互に独立に水素原子、置換もしくは非置換の炭素数1〜20のアルキル基、または-CH2 COOR2 (但し、R2 は炭素数1〜18のアルキル基を示す。)を示す。〕

IPC (10件)：

G03F 7/039 601 , C08F 2/50 , C08F220/02 , C08F232/00 , C08K 5/00 , C08K 5/12 , C08L 33/00 , C08L 45/00 , G03F 7/004 501 , H01L 21/027

FI (10件)：

G03F 7/039 601 , C08F 2/50 , C08F220/02 , C08F232/00 , C08K 5/00 , C08K 5/12 , C08L 33/00 , C08L 45/00 , G03F 7/004 501 , H01L 21/30 502 R

Fターム (78件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA09 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB08 , 2H025CB10 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB43 , 2H025CC20 , 4J002BG011 , 4J002BG041 , 4J002BG051 , 4J002BG061 , 4J002BH021 , 4J002BK001 , 4J002EB126 , 4J002EH137 , 4J002EQ016 , 4J002EU186 , 4J002EV226 , 4J002EV246 , 4J002EV296 , 4J002EV306 , 4J002GP03 , 4J011AC04 , 4J011QA02 , 4J011QA03 , 4J011QA08 , 4J011QA35 , 4J011QA37 , 4J011QA45 , 4J011SA73 , 4J011SA79 , 4J011SA82 , 4J011SA83 , 4J011SA87 , 4J011TA10 , 4J011UA01 , 4J011WA01 , 4J100AJ02Q , 4J100AK32R , 4J100AL03Q , 4J100AL08Q , 4J100AR03P , 4J100AR04P , 4J100AR09P , 4J100AR11P , 4J100AR16P , 4J100AR22P , 4J100AU21P , 4J100BA03P , 4J100BA03Q , 4J100BA04Q , 4J100BA05Q , 4J100BA06Q , 4J100BA15P , 4J100BA16P , 4J100BA20Q , 4J100BA40P , 4J100BA40Q , 4J100BB18P , 4J100BC07Q , 4J100BC08Q , 4J100BC09Q , 4J100BC53Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100FA03 , 4J100JA38

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