三次元イメージングのためのシステム及び方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-509018
公開番号（公開出願番号）：特表2001-515227
出願日： 1997年09月03日
公開日（公表日）： 2001年09月18日
要約：

【要約】三次元イメージングのためのシステム及び方法は、レンズの像平面(38)中に位置させられた二次元ディテクタアレイ(40)上に干渉縞を結像させると同時に、干渉縞の二次元フーリエ変換を実行するためのレンズ(34)を利用する。これにより、適切な配置のため、イメージングされた物体の即座のプレビューが可能になる。コヒーレントなエネルギービームが、それぞれソースエネルギービームの異なる周波数で、一連の干渉縞、又は像平面のホログラムを作り出すために利用される。更に、それぞれの周波数で、物体エネルギービームと参照エネルギービームとの間の相対的位相は、干渉縞に関連する複素数値をキャプチャーするために変化させられる。種々の干渉縞をキャプチャーして記憶した後、コンピュータ(42)は、一次元フーリエ変換、又は他の物体の三次元イメージを生成するための簡単な処理を実行する。イメージの分解能はミクロンのレンジに及び、このシステム及び方法を種々の三次元検査の用途に簡単に適合させられるようになる。

請求項（抜粋）：

物体の三次元イメージを形成する方法において、 a)前記エネルギービームを散乱させて散乱したエネルギー光線を形成するために前記物体に突き当たり、それと相互作用する、空間的及び時間的にほぼコヒーレントな物体エネルギービームを所定の経路に沿って導くステップと、 b)干渉縞を形成するために前記散乱したエネルギー光線と結合する、空間的及び時間的にほぼコヒーレントで、前記物体エネルギービームとほぼコヒーレントな参照エネルギービームを所定の経路に沿って導くステップと、 c)前記物体に似ているとして認識できる、認識可能なイメージを作り出すために前記干渉縞を変換するステップと、 d)前記物体のプレビュー及び配置のために、前記認識可能なイメージを検出するステップと、 e)コンピュータによる処理のために、前記認識可能なイメージの数値表現を記憶するステップと、 f)前記干渉縞を表わす複素数値を決定するために、前記物体エネルギービームの位相と前記参照エネルギービームの位相との間にある、複数の相対的な位相差のそれぞれに対してステップa)からe)を反復するステップと、 g)それぞれの反復に対してほぼ共通の周波数を有する前記物体エネルギービーム及び前記参照エネルギービームの複数の周波数のそれぞれに対してステップf)を反復するステップと、 h)前記物体の三次元イメージを生成するために、前記記憶された数値表現を処理するステップと、を有することを特徴とする方法。

IPC (4件)：

G03H 1/22 , G01B 11/24 , G06T 1/00 315 , H04N 13/02

FI (4件)：

G03H 1/22 , G06T 1/00 315 , H04N 13/02 , G01B 11/24 D

Fターム (54件)：

2F065AA53 , 2F065FF52 , 2F065GG04 , 2F065GG06 , 2F065GG23 , 2F065GG25 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL09 , 2F065LL12 , 2F065LL30 , 2F065LL46 , 2F065LL53 , 2F065LL57 , 2F065LL59 , 2F065NN06 , 2F065QQ03 , 2F065QQ16 , 2F065QQ18 , 2F065QQ23 , 2K008AA04 , 2K008BB04 , 2K008BB06 , 2K008CC03 , 2K008EE01 , 2K008EE04 , 2K008FF21 , 2K008FF27 , 2K008HH01 , 2K008HH18 , 2K008HH24 , 2K008HH28 , 5B057BA05 , 5B057BA06 , 5B057BA19 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB13 , 5B057CB17 , 5B057CE20 , 5B057DA07 , 5B057DB03 , 5B057DC34 , 5B057DC36 , 5C061AA29 , 5C061AB02 , 5C061AB03 , 5C061AB06 , 5C061AB08

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