特許
J-GLOBAL ID：200903087768582487
振動ジャイロ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-247843
公開番号（公開出願番号）：特開平11-072331
出願日： 1997年08月28日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】 圧電薄膜を用いる共振型の振動ジャイロにおいて、量産性、高精度化および小型化を実現する。【解決手段】 半導体基板において振動体を支持部材に片持ちされた梁部とそれに一体的に形成された質量部とから構成し、圧電薄膜層を振動体上に積層すると共に、駆動電極と検出電極を圧電薄膜層に積層させてなる電極層を梁部上に積層させる。また、駆動電極を3つのセグメントに分割し、質量部からの離間距離に応じて印加電圧を変えると共に、製造ばらつきを印加電圧で補正する。
請求項（抜粋）：
振動体に駆動電極を介して電圧を印加して所定の方向に振動させ、前記所定の方向に直交する方向に生じた圧電歪みによる電圧変化を検出電極を介して検出する振動ジャイロにおいて、前記振動体を支持部材に片持ちされた梁部と前記梁部の他端に形成された質量部とから一体的に構成し、圧電薄膜層を少なくとも前記梁部上に積層すると共に、前記駆動電極と検出電極を前記圧電薄膜層に積層させてなる電極層を少なくとも前記梁部上に平面状に配置したことを特徴とする振動ジャイロ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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