特許

J-GLOBAL ID：200903087770953549

紫外光発生装置

発明者： 内田 裕
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-129153
公開番号（公開出願番号）：特開平11-329364
出願日： 1998年05月12日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】光強度分布の一様化が容易で、斑のない照射が行えるとともに従来の紫外光発生装置に比して大幅に耐用寿命の長期化が図れ、かつ少ない消費電力で効率よく高強度の紫外光発光ができ、しかも薄型コンパクトな紫外光発生装置を提供することを目的とする。【解決手段】薄い平板状で、互いに対向する表裏板が紫外光を透過する誘電体で構成され、内部に紫外光発光種を含む気体が封入された気密性容器21と、表裏板22,23の外面にそれぞれ設けられ、交差状または平行に組合った多数の線状要素を格子状または平行に組合せて線状要素間に光が透過できる開口部を形成した外部金属電極25,26と、これら両外部金属電極と対向する配置で容器の表裏板間の中間位置に内装された薄板状の内部金属電極27と、各電極に接続された放電プラズマ発生用の励起電源29とを備える。

請求項（抜粋）：

薄い平板状で、互いに対向する表裏板が紫外光を透過する誘電体で構成され、その内部に紫外光発光種を含む気体が封入された気密性容器と、前記表裏板の外面にそれぞれ設けられ、交差状または平行に組合った多数の線状要素を格子状または平行に組合せてその線状要素間に光が透過できる開口部を形成した外部金属電極と、これら両外部金属電極と対向する配置で前記容器の表裏板間の中間位置に内装された薄板状の内部金属電極と、前記各電極に接続された放電プラズマ発生用の励起電源とを備えたことを特徴とする紫外光発生装置。