特許
J-GLOBAL ID：200903087778851010

静電チャック及びその製造方法

発明者：
口町 和一

口町 和一 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-156191
公開番号（公開出願番号）：特開2005-340442
出願日： 2004年05月26日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：
【課題】残留吸着力を低減することができ、載置面を大きくできる静電チャックを提供する。【解決手段】板状体4の一方の主面に吸着用電極3を設け、吸着用電極3の上に絶縁層2を備え、絶縁層2の上面をウェハWを載せる載置面2aとする。吸着用電極3の周辺部3bはC面、R面または逆R面として吸着用電極3とウェハWとの距離が大きい領域を成し、その領域は載置面2aにウェハWとの非接触部を形成する。また、絶縁層2の体積固有抵抗は10**12Ωcm以下、あるいは10**15Ωcm以上とし、Siを主成分とする非晶質層、あるいは非晶質酸化アルミニウムからなる。さらに、載置面2aの平均表面粗さRaは0.001μm以下とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
板状体の一方の主面に吸着用電極を設け、該吸着用電極の上に絶縁層を備え、該絶縁層の上面をウェハを載せる載置面とする静電チャックにおいて、前記吸着用電極は周辺部にて上記載置面と反対側に曲折し、且つ、前記吸着用電極の周辺部を覆う上記絶縁層には面取り部を形成したことを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
H01L21/68 ,  H02N13/00
FI (2件)：
H01L21/68 R ,  H02N13/00 D
Fターム (7件)：
5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16 ,  5F031HA33 ,  5F031HA35 ,  5F031PA26
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 静電チャック
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-103130   出願人：京セラ株式会社
  • 特開平4-49879号公報
  • 静電チャック
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-315746   出願人：京セラ株式会社
審査官引用 (8件)
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