ワイヤボンデイング方法及びその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-372637
公開番号（公開出願番号）：特開2001-189340
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：

【要約】【課題】キャピラリの上昇スピードを落とさないで、クランパ毎の差を無くして安定したテール長を得る。【解決手段】テール2bを延在させた後、キャピラリ1を電気トーチ3の上方のボール形成位置Z1に移動させ、キャピラリ1を下降させてテール2bの先端が電気トーチ3に接触して該電気トーチ3に導通した時のキャピラリ1の位置又はキャピラリ1が下降した長さを検知し、電気トーチレベルZ2、ボール形成位置Z1、ワイヤ2が電気トーチ3に接触した時のキャピラリ1の位置とから又はボール形成位置Z1における電気トーチレベルZ2からのキャピラリ1の高さと、キャピラリ1が下降した長さH1からテール長Lを算出し、この算出結果に基づいてクランパ6のクランプタイミングを補正する。

請求項（抜粋）：

第2ボンド点にワイヤをボンディング後、キャピラリが所定量上昇した後にクランパを閉じ、キャピラリとクランパを共に上昇させて第2ボンド点の付け根よりワイヤをカットし、キャピラリの下端にボールを形成させるためのテールを延在させるワイヤボンディング方法において、前記テールを延在させた後、キャピラリをテール長測定部材の上方の測定位置に移動させ、キャピラリを下降させてテールの先端が前記テール長測定部材に接触して該テール長測定部材に導通した時のキャピラリの位置又はキャピラリが下降した長さを検知し、前記テール長測定部材のレベル、前記キャピラリがテール測定のために下降する前のキャピラリの位置、ワイヤがテール長測定部材に接触した時のキャピラリの位置とから又はキャピラリがテール測定のために下降する前における前記テール長測定部材からのキャピラリの高さと、キャピラリが下降した長さからテール長を算出することを特徴とするワイヤボンデイング方法。

IPC (2件)：

H01L 21/60 301 , H01L 21/60

FI (2件)：

H01L 21/60 301 D , H01L 21/60 301 H

Fターム (3件)：

5F044BB11 , 5F044BB15 , 5F044CC05

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-240038
特開平3-263844
特開昭63-240038

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