特許

J-GLOBAL ID：200903087782090660

ガラスセラミック基板の焼成方法

発明者： 工藤 康人
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-333778
公開番号（公開出願番号）：特開平6-157145
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1994年06月03日
要約：

【要約】【目的】 ガラスセラミック基板の変形を防ぐ焼成方法を提供することにある。【構成】 ガラスセラミックグリーンシートの上面及び下面に耐火物セラミックグリーンシートを積層し、耐熱平板上に該積層体を置き、更に気孔率60%以上の及び/又は溝を有する重し板をその上に重ねて、焼成し、次いで耐火物セラミック層を除去する方法による。

請求項（抜粋）：

ガラスセラミックグリーンシートの上面及び下面に耐火物セラミックグリーンシートを積層し、耐熱平板上に該積層体を置き加熱圧着し、更に気孔率60%以上の及び/又は溝を有する重し板をその上に重ねて、焼成し、次いで耐火物セラミック層を除去することからなるガラスセラミック基板の焼成方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-285876
  
• 特開平4-203888
  
• 特開平3-275572