特許
J-GLOBAL ID:200903087788619425

超伝導装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 福田 武通 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-126641
公開番号(公開出願番号):特開平5-297092
出願日: 1992年04月21日
公開日(公表日): 1993年11月12日
要約:
【要約】【目的】 超伝導量子干渉素子SQUIDなどを用いて微弱な磁場を計測するのに適した冷凍機付き超伝導装置を提供する。【構成】 磁性体3を蓄冷器1に用いると二段のシリンダー4の第2の冷却ステージ9でヘリウムが液化できるため、別の膨張回路は不要である。超伝導の素子16は液体ヘリウム14を貯める内槽10に固定されているが、シリンダーとは振動吸収部11でのみ結合される。磁性体と素子とは十分に離してある。また、他の実施例では素子搭載部近傍を支持体により直接内槽に固定している。あるいは、磁性体が存在するシリンダーの周囲に磁気遮蔽部材を配置している。【効果】 小型で信頼性の高い冷凍機が使用できる。また、可動部と素子部の弱い機械的結合や磁気遮蔽部材は、冷凍機の動作に伴う振動やノイズを低減する。
請求項(抜粋):
少なくとも、第1及び第2の冷却ステージを有し、一部に高比熱磁性体を充填した蓄冷器を内蔵する二段のシリンダー、及びこのシリンダーと圧力配管で連結された圧縮機とを有する小型冷凍機と、上記シリンダーが挿入され、かつ液体冷却剤を貯蔵する内槽と、上記内槽の内側または外側に、上記シリンダーの第2の冷却ステージから離れて装着された超伝導素子と、上記シリンダーの第1の冷却ステージと熱的に結合した上記内槽の一部に接続され、かつ上記内槽を囲む輻射シールドと、上記輻射シールドから間隔をおいて設置され、かつ上記輻射シールドを囲む外槽と、上記シリンダーと上記内槽を結合する防振機構と、上記シリンダーの第2の冷却ステージで液化されるガスの導入口と、を含むことを特徴とする超伝導装置。
IPC (3件):
G01R 33/035 ZAA ,  F25B 9/00 395 ,  H01L 39/04 ZAA

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