特許
J-GLOBAL ID：200903087810925349
パルスヒート式接合装置およびその制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 文雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-222059
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054904
出願日： 1997年08月05日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 ヒータ温度の上昇中における温度変化をきめ細かく監視して温度センサの異常などによるヒータの過熱を確実に防止する。またヒータ電流を適切に設定するのに適し、万一ヒータ温度のオーバーシュートが発生したらそのことを確認して接合の良否を判定できるようにする。【解決手段】 接合部を2段階に加熱する一方、各段の加熱開始から起算する第1および第2立上り制限時間(tL1,tL2)内に、ヒータ温度Tが下限プロファイル(PL1,PL2)に到達したことを条件として適正な加熱と判定し、この条件を満たさない時には不適切な加熱としてヒータの加熱を停止させるようにした。第1段および第2段の加熱の開始時点から設定した第1および第2下限温度不監視時間(tn1、tn2)内にヒータ温度が下限プロファイルに到達しない時に不適正な加熱であるとしてヒータ加熱を中断する一方、ヒータ温度が上限プロファイル(PH1,PH2)に到達した場合にはエラー表示を行うようにした。
請求項（抜粋）：
被接合部をヒータで押圧して加熱すると共に、ヒータ温度をフィードバックしてヒータ温度を予め設定した温度プロファイルに追従させることにより前記被接合部を接合するパルスヒート式接合装置に用いる制御方法において、前記接合部の接合温度よりも低い第1設定温度に加熱する第1段加熱とこれより高温の第2設定温度に加熱する第2段加熱との2段階に加熱する一方、第1段加熱および第2段加熱のそれぞれの開始時点から予め設定した第1および第2立上がり制限時間内にヒータ温度が前記温度プロファイルより低い予め設定した下限プロファイルに到達したことを条件として適正加熱と判定し、前記条件を満たさない時にヒータ加熱を停止させることを特徴とするパルスヒート式接合装置の制御方法。
IPC (4件)：
H05K 3/34 507
, B23K 3/04
, G01N 25/72
, H02M 9/00
H05K 3/34 507 M
, B23K 3/04 Y
, B23K 3/04 F
, G01N 25/72 E
, H02M 9/00 B
