特許
J-GLOBAL ID：200903087813941906
固体撮像装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-333968
公開番号（公開出願番号）：特開平5-145855
出願日： 1991年11月21日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：
【要約】【目的】 画素間の遮光を損なうことなく、垂直転送クロックの伝搬遅延を抑制できることにより、高画素化、高感度化、高解像度化及びインチ系の縮小化を可能とした固体撮像装置を提供する。【構成】 垂直CCD13上にその転送方向に沿ってシャント配線24を配し、垂直転送ゲート電極17にコンタクトをとるとともに、このシャント配線24として高融点シリサイドを用いることにより、水平方向の配線に兼用される垂直転送ゲート電極17の実効的な配線抵抗を低減するとともに、遮光を配線とは独立したAl で行えることで、画素間の遮光も確実に行う。
請求項（抜粋）：
画素単位で2次元配列されて入射光を光電変換して蓄積する複数個の受光部と、第1のバスライン群に接続された端部から転送クロックが印加される2層構造の垂直転送ゲート電極を有し、前記複数個の受光部から垂直列毎に読み出された信号電荷を転送するn相駆動の垂直転送部と、前記垂直転送部上にその転送方向に沿って配されかつ各相毎に前記垂直転送ゲート電極に接続された高融点シリサイドからなるシャント配線とを備えたことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開昭53-037392
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特開昭63-244879
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