特許

J-GLOBAL ID：200903087822820330

ウェーハ搬送装置

発明者： 矢部 学
出願人/特許権者： NECエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 速水 進治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-126351
公開番号（公開出願番号）：特開2005-311093
出願日： 2004年04月22日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：

【課題】 所定の位置に設置されたときにのみ自動的に半導体ウェーハの出し入れが可能となるウェーハ搬送装置を提供する。【解決手段】 ウェーハ搬送装置100において、キャリア103の前面のウェーハ取出面119に、閉状態においてウェーハの飛び出しを防止するとともに、開状態においてウェーハの取り出しを可能とするストッパー105を設ける。また、キャリア103は、脚部104を有する。また、ストッパー105の下端に、非接地状態でキャリア103から突出する突出部121を設ける。そして、突出部121がキャリア103の底面より上方に押し込まれたときに、ストッパー105が回動し、開状態となるように構成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ウェーハを収容するキャリアと、 前記キャリアの底面に設けられた接地部と、 前記キャリアの前面に設けられたウェーハ取出用開口部と、 前記ウェーハ取出用開口部に設けられ、閉状態において前記ウェーハの飛び出しを防止するとともに、開状態において前記ウェーハの取り出しを可能とするストッパーと、 前記ストッパーの下端に設けられ、非接地状態で前記キャリアの底面から突出する突出部と、 を有し、 前記突出部の下端が前記接地部より上方に押し込まれたときに、前記ストッパーが回動し、開状態となるように構成されたことを特徴とするウェーハ搬送装置。

IPC (2件)：

H01L21/68 ,  B65D85/86

FI (2件)：

H01L21/68 V ,  B65D85/38 R

Fターム (21件)：

3E096AA06 ,  3E096BA15 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CA08 ,  3E096CB03 ,  3E096DA05 ,  3E096DA09 ,  3E096DC02 ,  3E096FA26 ,  3E096FA27 ,  3E096FA40 ,  3E096GA12 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031EA09 ,  5F031FA03 ,  5F031LA11 ,  5F031PA08 ,  5F031PA09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 半導体基板キャリア及び、半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-265414   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 基板用キャリア及びそれを用いる露光装置と露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-296356   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (5件)

• 特開平4-023448
  
• 特開平4-171965
  
• クリーンボックス内ウエハ固定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-204383   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 特開平4-023448
  
• 特開平4-171965