プラズマを発生させるための装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-148356
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354297
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】マイクロ波における交番磁界の発生に基づく、析出された層における変動を回避する。【解決手段】 1つのロッド状の導体4が、1つの絶縁管5の内部で真空室3を貫いて案内されており、該絶縁管5の内径が、導体4の直径よりも大きく形成されており、絶縁管5が少なくとも一方の端部で、真空室3の壁6に保持されていて、該壁に対して絶縁管5の外面がシールされており、導体4が少なくとも一方の端部で、交番電磁界を発生させるための第1の源8に接続されており、ロッド状の導体4の、真空室3内に突入して延びる部分の範囲が、螺旋体2として成形されており、ただし該部分の巻き線長さLが、波長λ<SB>0</SB>=10 ゚<α<15 ゚においてL=C/cos(α)である。

請求項（抜粋）：

交番電磁界を用いて真空室(3)内にプラズマを発生させるための装置において、1つのロッド状の導体(4)が、絶縁性の材料から成る1つの絶縁管(5)の内部で真空室(3)を貫いて案内されており、該絶縁管(5)の内径が、導体(4)の直径よりも大きく形成されており、絶縁管(5)が少なくとも一方の端部で、真空室(3)の壁(6,7)に保持されていて、該壁(6,7)に対して絶縁管(5)の外面がシールされており、導体(4)が少なくとも一方の端部で、交番電磁界を発生させるための第1の源(8;9)に接続されており、ロッド状の導体(4)の、真空室(3)内に突入して延びる部分の範囲が、螺旋体(2)として成形されており、ただし該部分の巻き線長さ(L)が、波長λ<SB>0</SB>=10 ゚<α<15 ゚においてL=C/cos(α)であることを特徴とする、プラズマを発生させるための装置。

FI (2件)：

H05H 1/46 L , H05H 1/46 B

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭62-032703
特開平4-136179
特開昭63-043299

審査官引用 (6件)

特開昭62-032703
特開昭62-032703
特開平4-136179

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