特許

J-GLOBAL ID：200903087835536436

光学式位置検出装置

発明者： 小川 保二
出願人/特許権者： 株式会社ワコム
代理人 (1件)： 鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-277625
公開番号（公開出願番号）：特開平7-110214
出願日： 1993年10月07日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：

【要約】【目的】 撮像手段を利用した光学式位置検出装置の高分解能化を図る。【構成】 光学式位置検出装置は光軸に沿って順に配置した結像手段1、スケール板2及び撮像手段3と、該撮像手段3に接続した位置演算部10とから構成されている。スケール板2は光軸に直交する前方座標面に沿って規則的に配列した複数のパタン素を有している。結像手段1は目標とする測定点4から発する光束を集光して対応する結像点に収束する参照光に変換するとともに、この参照光でスケール板2の一部をスポット照明して特定のパタン素を拡大投影する。撮像手段3は光軸に直交する後方座標面に沿って配置された受光面を有しており、拡大投影されたパタン素影を撮像して対応する画像データを出力する。位置演算部10はこの画像データを処理してパタン素影の後方座標値を検出し、これと元のパタン素の前方座標値とに基いて結像点の位置を算出し、さらに結像点の位置に基いて対応する測定点の位置を算出する。

請求項（抜粋）：

光軸に沿って順に配置した結像手段、スケール板及び撮像手段と、該撮像手段に接続した演算手段とからなる光学式位置検出装置であって、前記スケール板は該光軸に直交する前方座標面に沿って規則的に配列した複数のパタン素を有しており、前記結像手段は目標とする測定点から発する光束を集光して対応する結像点に収束する参照光に変換するとともに、該参照光で前記スケール板の一部をスポット照明して特定のパタン素を拡大投影し、前記撮像手段は該光軸に直交する後方座標面に沿って配置された受光面を有しており拡大投影されたパタン素影を撮像して対応する画像データを出力し、前記演算手段は該画像データを処理してパタン素影の後方座標値を検出し、これと元のパタン素の前方座標値とに基いて該結像点の位置を算出し、さらに結像点の位置に基いて該測定点の位置を算出する事を特徴とする光学式位置検出装置。