特許
J-GLOBAL ID：200903087838316011
光素子搭載装置及び光モジュールの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-070165
公開番号（公開出願番号）：特開2000-267014
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】 精度良く位置合せできる光素子搭載装置及び光モジュールの製造方法を提供する。【解決手段】 基板102上に搭載される光素子101を把持する把持手段204が、光素子101及び基板102を透過した光を拡大する拡大光学系103の視野を遮らないため、把持手段204の表面に付着した汚れや傷等が画像信号として取り込まれてもマークの認識に影響がない。また、把持手段204が真空吸着を利用している場合には、吸い込まれた埃が光素子吸着部109内に付着しても画像信号への影響がない。
請求項（抜粋）：
基板を保持すると共に微動可能な第1の微動台と、該基板に搭載される光素子を上記基板の上側で把持する把持手段と、上記基板の下から上側に光を照射する光照射手段と、上記光素子の上側で上記基板及び上記光素子を透過した光を受光して画像信号に変換し、上記基板及び上記光素子に形成されたマークを検出する検出手段と、該マークに基づいて上記把持手段を微動し上記光素子の位置合わせを行う第2の微動台とを備えた光素子搭載装置において、上記把持手段が上記光素子及び上記基板を透過した光を拡大する拡大光学系の視野を遮らないよう該拡大光学系の光軸に対しβ度傾けると共に、その角度βを上記拡大光学系の開口数αに対してsinβ≧αを満足させるようにしたことを特徴とする光素子搭載装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
2H043AD04
, 2H043AD14
, 2H043AD17
, 2H043AD19
, 2H052AB21
, 2H052AC05
, 2H052AD02
, 2H052AD17
, 2H052AD18
, 2H052AD31
, 2H052AF23
