特許
J-GLOBAL ID：200903087849948460
枚葉式成膜装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺澤 襄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-164959
公開番号（公開出願番号）：特開平6-002136
出願日： 1992年06月23日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】 再現性よく安定して良質の堆積膜を得られる枚葉式成膜装置を提供する。【構成】 基板Bは基板搬送室3内の搬送ステージ15上で待機し、搬送機構14により成膜室2に搬送し、成膜ステージ13上に載せる。基板Bを載せた成膜ステージ13は、支柱12のステージ摺動機構11により滑動し、マスク枠体22に設置しているプロセスセンシング部26およびマスク枠体22と基板Bとを接触させて停止する。成膜室2の成膜機構は、マスク枠体22の窓部24から基板Bに堆積膜Fを堆積させる。成膜ステージ13は基板Bおよびマスク枠体22により覆われているため、基板B以外にはマスク枠体22上にも堆積膜Fを形成するが、成膜ステージ13上に堆積したり、基板Bの裏面に堆積膜Fが付着しない。
請求項（抜粋）：
基板を搬入する基板搬入室と、前記基板を搬出する基板搬出室と、成膜用の成膜ステージを有しこの成膜ステージ上に載置された基板を成膜する成膜室と、前記基板搬入室および前記基板搬出室と前記成膜室との間を前記基板を搬送する基板搬送室とを備えた枚葉式成膜装置において、前記成膜室は、前記成膜ステージに載置された前記基板の周縁上に位置されるとともにこの基板の位置しないこの成膜ステージの表面を被覆するマスク機構を備えたことを特徴とする枚葉式成膜装置。
引用特許：
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