特許
J-GLOBAL ID:200903087857893763

プラズマディスプレイパネルで使用するための金属酸化物膜を製造する方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 秀策
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-174353
公開番号(公開出願番号):特開2001-048588
出願日: 2000年06月09日
公開日(公表日): 2001年02月20日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、大面積プラズマディスプレイパネルおよび他の大光学ディスプレイ基板上に金属酸化物膜を蒸着する大容量で低価格の方法を提供する。【解決手段】 以下の工程:光学基板および液状前駆体溶液を供給すること;液状前駆体溶液を使用して、光学基板に装着された酸化マグネシウムの固体膜を形成すること;および光学基板上の保護被覆として酸化マグネシウムを含有するように、プラズマディスプレイパネルを完成させること;を包含する、プラズマディスプレイパネルを製造する方法であって、ここで、方法は、液状前駆体溶液を供給する工程が、溶媒中にカルボン酸マグネシウムを含有する溶液を供給することを包含し、溶媒は、該カルボン酸マグネシウムのモル濃度の少なくとも約50%の量で、カルボン酸を含有する、方法である。
請求項(抜粋):
以下の工程:光学基板および液状前駆体溶液を供給すること;該液状前駆体溶液を使用して、該光学基板に装着された酸化マグネシウムの固体膜を形成すること;および該光学基板上の保護被覆として該酸化マグネシウムを含有するように、該プラズマディスプレイパネルを完成させること;を包含する、プラズマディスプレイパネルを製造する方法であって、ここで、該方法は、該液状前駆体溶液を供給する工程が、溶媒中にカルボン酸マグネシウムを含有する溶液を供給することを包含し、該溶媒は、該カルボン酸マグネシウムのモル濃度の少なくとも約50%の量で、カルボン酸を含有する、方法。
IPC (5件):
C03C 17/27 ,  C03C 17/34 ,  C23C 18/12 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02
FI (6件):
C03C 17/27 ,  C03C 17/34 Z ,  C23C 18/12 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B ,  H01J 11/02 Z

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