特許

J-GLOBAL ID：200903087858305350

圧電振動子

発明者： 平尾 進 ,  治田 暁 ,  石原 宏征
出願人/特許権者： 株式会社大真空
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-256035
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068777
出願日： 1998年08月25日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 金属バンプを溶着する際の電極の損傷を防ぎ、良好な導通状態を確保し、信頼性の高い圧電振動子を提供する。【解決手段】 水晶振動子は、基台を構成するセラミックパッケージ1と、セラミックパッケージ上に形成された接続電極12,13に搭載され、電気的接合される水晶振動板2と、前記接続電極12,13と水晶振動板2間に介在する各金属バンプ12a,13aと、水晶振動板2を気密封止する蓋4とからなる。水晶振動板に形成された延出部31b、32bの裏面(上面)は、電極が形成されない水晶振動板素地部分となっている。水晶振動板素地部分に超音波溶着ツールを押しつけ、金属バンプを溶融させる。

請求項（抜粋）：

複数の接続電極が形成された基台と、複数の主電極と当該主電極を外部に引き出す引出電極が形成され、当該引出電極を前記接続電極との接続面に延出した圧電振動板と、前記基台の接続電極と圧電振動板の引出電極との接合のうち、少なくとも1つまたは全部の接合を、前記接続電極と前記引出電極のいずれか一方または両方に形成された金属バンプの溶着により行う圧電振動子であって、前記圧電振動板の、前記金属バンプと接続される引出電極の形成された面の反対面には引出電極が形成されないことを特徴とする圧電振動子。

IPC (3件)：

H03H 9/02 ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/19

FI (3件)：

H03H 9/02 F ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/19 A

Fターム (11件)：

5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE19 ,  5J108FF07 ,  5J108FF13 ,  5J108GG03 ,  5J108GG16 ,  5J108HH03 ,  5J108KK03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 圧電振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-143169   出願人：日本電波工業株式会社
• 特開昭54-014188
  
• 特開昭52-036492