部品洗浄方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：篠部正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-037479
公開番号（公開出願番号）：特開平10-233381
出願日： 1997年02月21日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】各種精密機器等の非常に高度な清浄度が要求される機器の部品洗浄方法を提供する。【解決手段】洗浄剤としてノニオン界面活性剤てある中性洗浄剤を用い、すすぎ工程をその洗浄剤の曇り点温度以下で行う工程を一工程以上行う。これにより、ノニオン界面活性剤の水和結合を保ってすすぎを行うので、洗浄剤の残留分を低減できる。また、万一洗浄剤が微量残留しても、磁気記憶媒体のような敏感な被洗浄物質に悪影響を与えない。

請求項（抜粋）：

精密機器を構成する部品の洗浄方法において、非イオン性界面活性剤系洗浄剤を用いた洗浄の後、洗浄剤の曇り点温度以下の温度のすすぎ液ですすぐ工程をおこなうことを特徴とする部品洗浄方法。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 , H01L 21/304 , B08B 3/08 , C11D 1/66

FI (4件)：

H01L 21/304 341 L , H01L 21/304 341 M , B08B 3/08 Z , C11D 1/66

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