特許

J-GLOBAL ID：200903087861498950

回転体中心軸の測定方法

発明者： 須原 浩之
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-112531
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318333
出願日： 1994年05月26日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】 回転体の中心軸位置の測定を高精度に、かつ短時間に行う方法を提供する。【構成】 同一光源からの可干渉光を参照面16aと回転体表面17aとに照射し、回転体17の中心軸O′付近に集束させ、前記両面から反射される被検波と参照波とを重畳して干渉縞を作り、該干渉縞を解析して波面収差量ΔS1 ,ΔS2 を求めることにより前記可干渉光の集束点と中心軸とのずれ量δ1 ,δ2 を算出する。

請求項（抜粋）：

同一光源からの可干渉光を参照面と回転体表面とに照射し、回転体の中心軸付近に集束させ、前記両面から反射される被検波と参照波とを重畳して干渉縞を作り、該干渉縞から波面収差量を求めることにより前記可干渉光の集束点と中心軸とのずれ量を算出することを特徴とする回転体中心軸の測定方法。