光学的測定装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤武久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-134333
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005629
出願日： 2001年05月01日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】光学的測定装置において、簡潔でコンパクトな構成であり、被検査対象物である試料、特に構造化されたウェーハーも構造化されていないウェーハーもその性質に関する正確な情報が得られるように構成する。【解決手段】対象物光線(10)と参照光線(9)とを評価装置(11)にカップリングさせるため、多数(N)の光ファイバー(24,26)を備えた光誘導装置(23,25)を設ける。

請求項（抜粋）：

測定光線(6)を放射する照明装置(1)と、測定光線(6)を対象物光線(10)と参照光線(9)とに分割するビームスプリッター(8)と、対象物光線(10)を試料(P)表面の測定部位(M)へ指向させて、測定部位(M)によって反射した光を検出するための測定対物レンズと、評価装置(11)と、を有し、試料(P)によって反射した対象物光線(10)と参照光線(9)とを評価装置(11)にカップリングさせて試料(P)に関する情報を得るようにした光学的測定装置において、対象物光線(10)と参照光線(9)とを評価装置(11)にカップリングさせるため、多数(N)の光ファイバー(24,26)を備えた光誘導装置(23,25)が設けられていることを特徴とする光学的測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/06 , G01N 21/27

FI (2件)：

G01B 11/06 G , G01N 21/27 B

Fターム (25件)：

2F065AA30 , 2F065BB03 , 2F065BB17 , 2F065CC19 , 2F065FF52 , 2F065GG02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL03 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL30 , 2F065UU07 , 2G059AA02 , 2G059BB16 , 2G059EE02 , 2G059GG03 , 2G059HH03 , 2G059JJ02 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ14 , 2G059JJ17 , 2G059KK04 , 2G059LL01

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